探微知著 · 谱惠新质

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微谱科技专注工业质谱仪器研发制造,为半导体、新能源、化工等领域提供残余气体分析与过程监测解决方案

核心产品线

专注于工业质谱仪器的研发与制造,提供从残余气体分析到过程监测的全链条解决方案

残余气体分析仪 RGA

残余气体分析仪 RGA

ppb级痕量气体检测,满足先进制程监测需求

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过程监测质谱 PMS

过程监测质谱 PMS

实时在线分析,响应时间小于1秒

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MEMS质谱(在研)

MEMS质谱(在研)

微型化芯片级质谱仪,面向便携式与嵌入式应用场景

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定制化解决方案

定制化解决方案

针对特殊应用场景的专属仪器定制

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20+
年行业经验
10+
客户信赖
10+
专利技术

荣誉资质

多项权威认证与荣誉,见证微谱科技的技术实力与行业认可

荣誉资质1
荣誉资质2
荣誉资质3
荣誉资质4
荣誉资质5
荣誉资质6
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