应用领域
深耕多个高精尖行业，为不同领域提供专业的质谱分析解决方案
半导体
行业痛点
晶圆制造过程中痕量杂质气体影响产品良率，需要ppb级精度的实时监测能力。
微谱解决方案
微谱RGA残余气体分析仪提供10¹² mbar检测下限，支持多点位在线监测，帮助客户快速定位污染源，提升制程稳定性。
典型应用案例
- •某头部晶圆厂采用微谱RGA系统后，缺陷率降低30%
- •真空镀膜工艺气体纯度实时监控方案
深耕多个高精尖行业，为不同领域提供专业的质谱分析解决方案
晶圆制造过程中痕量杂质气体影响产品良率，需要ppb级精度的实时监测能力。
微谱RGA残余气体分析仪提供10¹² mbar检测下限，支持多点位在线监测，帮助客户快速定位污染源，提升制程稳定性。